f'servizz one-stop
Newtek Gas jippreżenta sistema ta 'ġenerazzjoni ta' ossiġenu ta 'PSA (pressjoni ta' tbandil ta 'pressjoni) inġinerija speċifikament għal ambjenti ta' manifattura ta 'semikondutturi. Din is-soluzzjoni modulari tagħti 99.5% ossiġenu ta 'purità ultra-għolja b'rati ta' fluss li jvarjaw minn 5-3000 nm³ / h, li jinkludu kapaċitajiet ta 'integrazzjoni intelliġenti għal operazzjonijiet ta' kamra nadifa.
Vantaġġi Tekniċi Ewlenin
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% Purità o₂
± 0. 5% stabbiltà tal-konċentrazzjoni permezz ta 'analiżi tal-gass tal-lejżer f'ħin reali
0. 1μm filtrazzjoni multi-stad
- 30% inqas konsum ta 'enerġija minn sistemi konvenzjonali
- Is-sistema ta 'rkupru tas-sħana tnaqqas it-tagħbija termali f'ambjenti fab
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Disinn immuntat fuq skid skalabbli jappoġġja 20% -200% espansjoni tal-kapaċità
Unità tal-Kompressjoni tal-Arja (teknoloġija tal-iscroll mingħajr żejt)
Torri ta 'Purifikazzjoni (Tneħħija Awtomatika ta' l-Umdità TSA)
Kabinett tal-Kontroll Intelliġenti (PLC + HMI bi Protokoll SECS / GEM)
Applikazzjonijiet tal-proċess tas-semikondutturi
✔ Ossidazzjoni termali
Preċiżjoni O₂ Provvista għat-tkabbir tal-ossidu tal-bieb (2-200 Å Control tal-Ħxuna)
✔ Inċiżjoni niexfa
Provvista tal-gass stabbli fil-plażma għal disinn tan-nanoskala
✔ CVD Chamber Purge
Ossiġenu ultra-niexef għall-prevenzjoni tal-kontaminazzjoni tal-partikuli
✔ L-ittemprar tal-wejfer
Kontroll tal-atmosfera ta 'purità għolja għall-attivazzjoni tad-dopant
Sistema ta 'Monitoraġġ Intelliġenti
Monitoraġġ tal-impurità f'ħin reali (sejbien tal-livell PPB)
Manutenzjoni tbassir bl-algoritmu AI (preċiżjoni ta '98%)
Dijanjostiċi mill-bogħod permezz tal-pjattaforma IIOT (OPC UA / MTConnect)
Semi F 5-0202 Standards tal-Gass Cleanroom
Ċertifikazzjoni tas-Sigurtà Elettrika CE / UL / ETL
ISO 14644-1 Klassi 3 Kompatibilità tal-Kamra Clean
nipprovdu
▲ Netwerk Tekniku Globali:24/7 Appoġġ multilingwi ma '<4hr response time
▲ Programm ta 'Ottimizzazzjoni tal-Ħajja:Verifika tal-Effiċjenza Annwali u Servizz ta 'Sostituzzjoni tal-Għarbel Molekulari (1- Garanzija tas-Sena)
▲Soluzzjonijiet Custom:Integrazzjoni mfassla mas-sistemi AMHS / MMC
u disinn tas-sistema ta 'rkupru tal-gass
Ikkuntattja lill-esperti tagħna tal-gass semikondutturi
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
It-tags Popolari: Ġeneratur ta 'ossiġenu għal semikondutturi, ġeneratur ta' ossiġnu taċ-Ċina għal manifatturi ta 'semikondutturi, fornituri
